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Miniax XYZステージはシンプルな構造で低コスト型です。シングルベローズ方式で取り付け方向に制限はありません。 シンプルな構造にもかかわらず高精度かつ超高真空対応となっております。
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*ベローズ内径:φ35mm *耐熱温度:200℃ *Zトラベル:50, 100mm *X-Yトラベル:±12.5mm *トラベリングフランジ:ICF70タップ穴 *ベースフランジ:ICF70又はICF152 (ICF152にはICF34の予備ポートが4つ) *手動のみ
回転導入器とサンプルホルダーを組み合わせることが可能です。 |
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トップフランジ |
ベースフランジ |
Zトラベル |
X-Yトラベル |
A寸法 |
C寸法 |
型式 |
ICF70タップ |
ICF70 |
50mm |
±12.5mm |
160-210mm |
250mm |
ZXYZ0570 |
ICF70タップ |
ICF70 |
100mm |
±12.5mm |
160-260mm |
301mm |
ZXYZ1070 |
ICF70タップ |
ICF152 |
50mm |
±12.5mm |
160-210mm |
250mm |
ZXYZ0515 |
ICF70タップ |
ICF152 |
100mm |
±12.5mm |
160-260mm |
301mm |
ZXYZ1015 |
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製品詳細はメーカーのホームページをご参照ください。
http://www.vacgen.com
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製造元による理由により、本価格は予告なく変更する場合があります。
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