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HPT XYZステージはシングルベローズ方式で取り付け方向に制限はありません。モジュールシステムを採用していることで、多彩な構成を提供しています。 Zステージには板バネ式の引き上げ機構が備わっており、より安定したZ駆動を提供します。 |
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*ベローズ内径:φ35mm又はφ44mm *Zトラベル:50, 100, 150, 250mm *X-Yトラベル:±12.5mm *マイクロメーターは1μ、5μから選択可 *トラベリングフランジ:ICF70タップ穴 *ベースフランジ:ICF70又はICF152 (ICF152にはICF34の予備ポートが4つ) *チルト機構オプション *手動またはモーター駆動
回転導入器とサンプルホルダーを組み合わせることが可能です。 |
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製品構成は、Zモジュール部、XYモジュール部、回転導入器モジュールから成っております。 下記の例のように各部をご選定いただき、マニピュレーターを構成してください。(マイクロメーターはX,Y各1個づつ計2個必要です。)
例: |
Zモジュール部 MRXZ0570 |
+ |
XYモジュール部/マイクロメーター MRXXY12+MRXMIC01 x2個 |
+ |
回転導入部 MR1R |
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Zモジュール部 |
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Zモジュール仕様 |
*精度 : |
手動 5μm モーター 2.5μm |
*再現性: |
10μm |
モーター駆動時の仕様はVGシエンタ社製モーターコントローラを使用した場合の値です。
ベースフランジ |
Z移動距離 |
ボア径 |
型式 |
ICF70 |
50mm |
φ35mm
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MRXZ0570 |
100mm |
MRXZ1070 |
150mm |
MRXZ1570 |
250mm |
MRXZ2570 |
ICF152(ICF34ポート 4個付き) |
50mm |
MRXZ0515 |
100mm |
MRXZ1015 |
150mm |
MRXZ1515 |
250mm |
MRXZ2515 |
50mm |
φ44mm
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MWXZ0515 |
100mm |
MWXZ1015 |
150mm |
MWXZ1515 |
250mm |
MWXZ2515 |
別途モーターオプションが選択可能です。
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X-Yモジュール部 |
X-Yモジュール仕様 |
*バレル型マイクロメーター |
分解能: 再現性: |
5μm 5μm |
*高精度型マイクロメーター |
分解能: 再現性:
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1μm (バーニアスケール) 5μm |
*モーター |
分解能: 再現性:
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2.5μm (バーニアスケール) 5μm |
*チルトオプション |
最大7度 |
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モーター駆動時の仕様はVGシエンタ社製モーターコントローラを使用した場合の値です。
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品名 |
型式 |
X-Yモジュール ±12.5mm駆動 |
MRXXY12 |
X-Y駆動無用アダプター |
MRXXY00 |
バレル型マイクロメーター (X、Y各1個、計2個必要) |
MRXMIC05 |
高精度型マイクロメーター (X、Y各1個、計2個必要) |
MRXMIC01 |
チルトアダプター |
MRXTAA |
X、Y軸には別途モーターオプションが選択可能です。
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回転導入部 |
*1軸及び2軸の回転導入器から選択 *ベアリングハウジング付き *シャフトの長さは下記の範囲で決められます (Zが伸びきった状態でのL寸法)
Z駆動 |
L 最少 |
L 最大 |
50mm |
46mm |
195mm |
100mm |
61mm |
210mm |
150mm |
76mm |
225mm |
250mm |
106mm |
255mm |
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品名 |
型式 |
1軸型回転導入器 |
MR1R |
2軸型回転導入器 |
MR2R |
1軸、2軸共に別途モーターオプションが選択可能です。 |
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サンプルホルダーはコチラをご参照ください。
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製品詳細はメーカーのホームページをご参照ください。
http://www.vacgen.com
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製造元による理由により、本価格は予告なく変更する場合があります。
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