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| HPT XYZステージはシングルベローズ方式で取り付け方向に制限はありません。モジュールシステムを採用していることで、多彩な構成を提供しています。 Zステージには板バネ式の引き上げ機構が備わっており、より安定したZ駆動を提供します。 |
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＊ベローズ内径：φ35mm又はφ44mm
＊Zトラベル：50, 100, 150, 250mm
＊X-Yトラベル：±12.5mm
＊マイクロメーターは1μ、5μから選択可
＊トラベリングフランジ：ICF70タップ穴
＊ベースフランジ：ICF70又はICF152
（ICF152にはICF34の予備ポートが４つ）
＊チルト機構オプション
＊手動またはモーター駆動
回転導入器とサンプルホルダーを組み合わせることが可能です。 |
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製品構成は、Zモジュール部、XYモジュール部、回転導入器モジュールから成っております。
下記の例のように各部をご選定いただき、マニピュレーターを構成してください。（マイクロメーターはX,Y各1個づつ計2個必要です。）
| 例： |
Zモジュール部
MRXZ0570 |
＋ |
XYモジュール部/マイクロメーター
MRXXY12＋MRXMIC01 x2個 |
＋ |
回転導入部
MR1R |
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| Zモジュール部 |
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| Zモジュール仕様 |
| ＊精度 ： |
手動 5μm
モーター 2.5μm |
| ＊再現性： |
10μm |
モーター駆動時の仕様はVGシエンタ社製モーターコントローラを使用した場合の値です。
| ベースフランジ |
Z移動距離 |
ボア径 |
型式 |
| ICF70 |
50mm |
φ35mm
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MRXZ0570 |
| 100mm |
MRXZ1070 |
| 150mm |
MRXZ1570 |
| 250mm |
MRXZ2570 |
| ICF152(ICF34ポート 4個付き） |
50mm |
MRXZ0515 |
| 100mm |
MRXZ1015 |
| 150mm |
MRXZ1515 |
| 250mm |
MRXZ2515 |
| 50mm |
φ44mm
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MWXZ0515 |
| 100mm |
MWXZ1015 |
| 150mm |
MWXZ1515 |
| 250mm |
MWXZ2515 |
別途モーターオプションが選択可能です。
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| X-Yモジュール部 |
| X-Yモジュール仕様 |
| ＊バレル型マイクロメーター |
分解能：
再現性： |
5μm
5μm |
| ＊高精度型マイクロメーター |
分解能：
再現性：
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1μm (バーニアスケール）
5μm |
| ＊モーター |
分解能：
再現性：
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2.5μm (バーニアスケール）
5μm |
| ＊チルトオプション |
最大７度 |
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モーター駆動時の仕様はVGシエンタ社製モーターコントローラを使用した場合の値です。
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| 品名 |
型式 |
| X-Yモジュール ±12.5mm駆動 |
MRXXY12 |
| X-Y駆動無用アダプター |
MRXXY00 |
バレル型マイクロメーター
（X、Y各1個、計2個必要） |
MRXMIC05 |
高精度型マイクロメーター
（X、Y各1個、計2個必要） |
MRXMIC01 |
| チルトアダプター |
MRXTAA |
X、Y軸には別途モーターオプションが選択可能です。
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| 回転導入部 |
＊1軸及び2軸の回転導入器から選択
＊ベアリングハウジング付き
＊シャフトの長さは下記の範囲で決められます
（Zが伸びきった状態でのL寸法）
| Z駆動 |
L 最少 |
L 最大 |
| 50mm |
46mm |
195mm |
| 100mm |
61mm |
210mm |
| 150mm |
76mm |
225mm |
| 250mm |
106mm |
255mm |
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| 品名 |
型式 |
| 1軸型回転導入器 |
MR1R |
| 2軸型回転導入器 |
MR2R |
1軸、2軸共に別途モーターオプションが選択可能です。 |
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サンプルホルダーはコチラをご参照ください。
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製品詳細はメーカーのホームページをご参照ください。
http://www.vacgen.com
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 製造元による理由により、本価格は予告なく変更する場合があります。
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